传统的传感器弹性体结构限制了其应用范围，因此高精度多维传感器的发展是传感器技术发展的必然要求。

多维力传感器是力传感器中新开发的传感器。将多维力/扭矩信号转换为电信号，监测扭矩方向和大小的变化，测量加速度或惯性力，检测接触力的大小和作用点。此外，多维力传感器还可以检测三维空间的全力信息，即三力分量（Fx、Fy、Fz）和三扭矩分量（Tx、Ty、Tz）。它是工业机器人、智能设备等重要的传感器设备之一。由于测量信息丰富，测量精度高，广泛应用于力和力-位控制场合、工业机器人精密装配、抛光、毛刺去除、自动研磨、轮廓跟踪、机器人手协调等各种科研设备。

常见的多维力传感器结构可分为筒式、柱式、环式、悬臂梁式、十字梁式、倒T型等。

力敏元件的结构设计是力传感器研究的核心问题，因为力传感器的结构决定了其性能。针对这一问题，许多国际和国内学者进行了大量的研究，并提出了以下多维传感器结构图：

多维力传感器在工业研磨中的应用。

在工业抛光行业，传统工人抛光存在工件一致性差、废品率高、劳动力成本高、粉尘爆炸风险高等市场缺点。

工业生产中多维力传感器的主要应用领域是装配和抛光，广泛应用于机器人领域。从目前的市场情况来看，抛光精度要求高的行业主要在3C行业，而3C行业劳动密度高，迫切需要实现自动化转型。随着3C行业的灵活需求，需要更智能的抛光机器人来更好地满足市场需求。

多维传感器通过传感器固定座与机械臂末端关节固定连接。在静态条件下，机械腕多维力传感器测量的力和扭矩数据由传感器本身的系统误差、负载重力和外部接触力组成。在工业机器人的加工和组装应用中，需要准确感知机器人终端工具或工件与外部环境的接触，控制系统根据这些力改变机器人的运动，以确保运行的稳定性。

如今，随着工业加工制造业的不断完善，3C等精密装配行业对机器人生产的要求不断提高，多维传感器等高性能传感器也将迎来新的发展机遇。